楊序

自序

第一篇　緒論

1-1　奈米科技簡介
1-2　奈米科技應用
1-3　各國推動奈米科技及產業之研發現況

2-1　半導體製造廠前段製程
2-2　半導體製造廠後段製程

3-1　潔淨室簡介
3-2　潔淨室的定義與分類

4-1　超潔淨無塵室組成
4-2　潔淨室技術及其未來動向

第二篇　廠務技術與工程管理

5-1　潔淨室懸浮微粒的污染特性
5-2　冷凍空調原理
5-3　潔淨室空調之循環、進氣與排氣系統
5-4　冰水、熱水與二次冰水系統
5-5　潔淨室的溫、濕度控制
5-6　潔淨室空調系統技術與未來方向

6-1　大宗氣體供應設備
6-2　半導體廠大宗氣體純化器
6-3　各類毒性氣體特性
6-4　特殊氣體管路設計
6-5　特殊氣體的供應方式
6-6　氣體監測器介紹
6-7　空氣呼吸系統

7-1　特殊氣體簡介
7-2　特殊氣體與監測系統
7-3　奈米級廠之化學品

8-1　純水系統
8-2　有機廢水處理系統
8-3　無機廢水處理系統

9-1　靜電對人體可能產生的危害
9-2　晶片靜電污染及防制
9-3　迷你潔淨室靜電控制

10-1　國內現有防排煙模式分析
10-2　有效之煙控模式

11-1　噪音
11-2　振動
11-3　潔淨室之振動與噪音

12-1　消防系統簡介
12-2　工業配電開關器材選用
12-3　監視系統
12-4　緊急廣播系統

第三篇　建造規劃與維護管理

13-1　合約與建廠
13-2　施工管理

14-1　潔淨室工程施工管理
14-2　潔淨室測試
14-3　無塵室潔淨度測試規範
14-4　潔淨室測試與驗收

15-1　監工人員責任
15-2　監工人員注意事項

16-1　潔淨室設計原則
16-2　潔淨室規劃
16-3　潔淨室的系統結構
16-4　潔淨室運轉與維護管理

第四篇　環境衛生與工安管理

17-1　空氣污染源
17-2　廢水污染源
17-3　廢棄物污染源
17-4　污染物種類及特性

18-1　廠內管理及減廢
18-2　處理原理及流程
18-3　廢水分流蒐集及貯存系統
18-4　處理單元及設備操作維護
18-5　控制儀錶

19-1　空氣污染物蒐集系統
19-2　廢氣處理系統
19-3　空氣污染防制設備操作維護

20-1　廢棄物貯存
20-2　廢棄物清除
20-3　廢棄物減量
20-4　廢棄物處理

21-1　工業安全衛生環保概述
21-2　半導體工業之危害
21-3　半導體安全衛生管理

附錄